工业

半导体加工用扩散管

用于扩散、过滤和分配工艺气体的精密组件

使用高纯度扩散管提高性能

我们的高纯度扩散管为半导体工艺设备提供优化的扩散、过滤和分配工艺气体的解决方案。POREX® 多孔材料确保您的产品和工艺符合最高的质量和性能标准。我们高纯度产品的精确孔隙率可实现一致性高的电气和流动特性。

Diffusion Solutions

用于半导体加工的扩散管定制选项

主要特点和优点

  • 确保纯度—材料是经认证的Certified Pure POREX®,由独立实验室
  • 对可浸出物、可萃取物和干扰物质进行测试。
  • 提供精确的流速和公差—可控的孔径和体积。
  • 提高工艺效率—可根据应用需求定制设计。
  • 低污染。
  • 精确的孔径和体积控制,并可根据多种形状和厚度进行定制。
  • 低介电常数和介电损耗,实现最高效率。

Porous Laboratory Components

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使用多孔塑料进行扩散

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